คือการนำข้อดีของ RAID 0 และ 1 มารวมกัน โดยใช้ฮาร์ดไดรฟ์ 3 ตัวแต่ขนาดความจุจะเท่ากับนำ 2 ตัวมารวมกัน เช่น นำฮาร์ดไดรฟ์ 40 GB 3 ตัว มารวมกันก็จะได้ 80 GB แต่ข้อดีคือข้อมูลจะถูกเขียนกระจายลงไปในฮาร์ดไดรฟ์ทั้ง 3 ตัวโดย RAID 5 จะทำการสร้าง Parity Bit มาช่วยในการจัดการ เพื่อป้องกันฮาร์ดไดรฟ์ตัวใดตัวหนึ่งเกิดการเสียหาย แล้วจะไม่มีการสูญเสียข้อมูลเกิดขึ้น